ESA-307-01 Mikrosystemtechnik (MST)
Verantwortlich	Beißner, Stefan, Professor
Fachgebiet (Planung)	EIT-EMT, Elektrische Messtechnik
Zugeordnet zu	ESA-307, M-Kat1-ESA
Sprache	Deutsch
	5.00 Credits, 4 SWS, Vorlesung, empf. Gruppengröße: 27
Angebotshäufigkeit
	68 Präsenz-Std und 82 Std. Selbststudium
Empfehlungen zum Selbststudium	Aufgabensammlung
Empfohlene Voraussetzungen	keine
Lernergebnisse / Ziele	Die Studierenden - können Basistechnologien und Anwendungen der Mikrosystemtechnik wiedergeben, Vor- und Nachteile benennen und Anwendungsbeispiele verdeutlichen. - können Reinraumkonzepte und –klassen erklären. - sind in der Lage Grundprinzipien der Mikroskopie, Lithografie, Ätztechnik, Dotierung zu beschreiben. - können die Vor- und Nachteile von Volumen- und Oberflächenmikromechanik abschätzen. - können die Funktionsprinzipien mikromechanischer Baugruppen wie Drucksensoren, Beschleunigungssensoren, Gyroskopen, miniaturisierter Mikrofone und optischer Gitter erörtern. - sind in der Lage die Einsatzmöglichkeiten von Mikrosystemen in der Sensor- und Automatisierungstechnik abzuschätzen.
Inhalt	Basistechnologien der Mikrosystemtechnik - Reinraumtechnik - Mikroskopie - Materialien der Mikrosystemtechnik - Wandlungseffekte - Lithografie - Ätztechnik - Dotierung - Oberflächenmikromechanik - Abformtechnik Systemintegration Anwendungen der Mikrosystemtechnik - Drucksensoren - Beschleunigungssensoren - Gyroskope - Inertialnavigationssysteme - Mikromechanische Mikrofone - Optische Gitter - Mikrofluidische Bauelemente
Anforderungen Präsenzzeit	Aktive Teilnahme, Präsentationen, Teamarbeit
Anforderungen Selbststudium	Nachbereitung der Lehrinhalte, Vorbereitung der Übungen, Präsentationen oder Hausarbeiten
Prüfungsleistungen	siehe Modul
Literatur	- Gerlach, Dötzel: Grundlagen der Mikrosystemtechnik, Hanser Verlag, München, 1997. - Völklein, Zetterer: Praxiswissen Mikrosystemtechnik, Vieweg Verlag, Wiesbaden, 2006. - Büttgenbach: Mikrosystemtechnik – Vom Transistor zum Biochip, Springer Verlag, Heidelberg, 2016. - Elbel: Mikrosensorik, Vieweg Verlag, Wiesbaden, 1996. - Büttgenbach: Mikromechanik, Teubner Verlag, Stuttgart, 1994. .